Ученые из Пензы запатентовали сверхчувствительный газоаналитический чип.

Ученые Пензенского государственного университета (ПГУ) разработали и запатентовали газоаналитический мультисенсорный чип, который способен обнаружить десять молекул газа в миллиарде частиц воздуха. Созданная мультисенсорная система уверенно отличает друг от друга метанол, этанол, изопропанол, бутанол и аммиак, сообщила пресс-служба вуза.
При создании газоаналитического мультисенсорного чипа ученые из Пензы и Саратова использовали ультрафиолетовый и низкотемпературный отжиг. Это позволило получить прибор со стабильными параметрами, способный распознавать тип газа.
"Еще одна важная особенность разработанного мультисенсорного чипа — обнаружение очень низких концентраций газов в окружающем воздухе — прибор способен обнаружить 10 частиц газа на миллиард молекул воздуха", — отметили в пресс-службе.
Сейчас для обнаружения утечек широко используются полупроводниковые газовые сенсоры, однако они наряду с простотой изготовления и низкой себестоимостью, имеют ряд существенных недостатков. Один из них — низкая селективность. Это связано с большим размером кристаллитов газочувствительного материала, который составляет десятки нанометров.
"Использованный нами подход, связанный с ультрафиолетовой обработкой газочувствительного материала, позволил "заморозить" наносостояние и получить очень высокий сенсорный отклик, стабильный во времени", — приводит пресс-служба слова доктора технических наук, заведующего кафедрой "Нано- и микроэлектроника" ПГУ Игоря Пронина.
Газоаналитический мультисенсорный чип прошел апробацию на базе научно-исследовательской лаборатории "Сенсоры и микросистемы" Саратовского государственного технического университета имени Ю. А. Гагарина. В настоящее время ряд предприятий ведет переговоры с ПГУ о внедрении прибора в производство. Себестоимость газоаналитического мультисенсорного чипа составляет порядка двух тысяч рублей.